摘 要：采用由质子交换辅助湿法刻蚀技术，在Z 切铌酸锂晶体上成功制备锥形脊波导．该波导脊高为1.2 μm、脊宽从4 μm 增大至8 μm，插入损耗4.4 dB．波导表面光滑，表面粗糙度为0.84 nm，没有出现塌边或横向刻蚀的现象．波导宽度从4 μm 增大至8 μm，模式尺寸在水平方向上从4.3 μm 增大至6.8 μm，在垂直方向上从3.2 μm 增大至5.6 μm．当波导宽度增大时模场尺寸也增大，实现小模场与大模场之间的转换．

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