基于STM32 微控制器的电容式微位移测量系统的设计
摘 要：基于STM32 微控制器构建了电容式微位移测量系统，该系统由电容传感器、数据采集电路以及主控系统组成．基于传感器电容梯度理论模型，分析计算了圆筒形电容式传感器下的电容梯度，对系统关键部件电容式位移传感器探头进行变面积型结构设计．通过对电容梯度与位移的变化进行精密测量，对位移与电容梯度之间的理论数值关系进行实验验证．实验数据证明了变面积型电容式传感器探头设计与测量方案的可行性．在当前的电容式传感器条件下，该测量系统量程达到4.6 mm，精度为10 μm，具有较大的测量范围和较高的精度．
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